本文摘要:
將自研掃描白光干涉測頭集成到Moore五軸運動平臺上構(gòu)建了一套五軸白光干涉測量系統(tǒng),用于實現(xiàn)曲面光學元件表面形貌測量。在研究了該系統(tǒng)的運動學模型后,對于逆運動學方程組中的未知參數(shù)提出了一套標定方法。標定完成后在標定件上選取了8個測量點進行標定精度驗證。結(jié)果表明,標定精度能夠滿足測頭的測量需求。在系統(tǒng)建模和標定后,對于工件上任一待測點,可以控制各軸使測頭直接運動到運動學反解出來的理論位置,此時測頭光軸接近工件表面待測點法線,且可以在掃描范圍內(nèi)得到完整且有效的干涉信號,進而分析出待測點的表面形貌,實現(xiàn)工件上任意待測點的自動化測量。主要圍繞五軸掃描白光干涉測量系統(tǒng)的自動化功能開發(fā)進行運動學建模與結(jié)構(gòu)參數(shù)標定研究,主要目標是通過自動化標定實現(xiàn)白光干涉儀對焦點與待測點重合且光軸與待測點法線重合,這是準確測量表面形貌的前提。雖然本研究能夠針對工件上任意一點進行自動化測量,但要想獲得工件的完整形貌需要通過子孔徑拼接的方法將多個單視場進行拼接。其次Moore五軸運動平臺在測量時存在振動干擾,對測量重復度會有影響。這兩個問題將是后續(xù)針對該五軸白光干涉測量系統(tǒng)進一步開發(fā)與優(yōu)化的主要研究工作
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2026-08
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2026-08
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2026-08
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2026-08
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2026-08
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